六氯乙硅烷是一種無機(jī)化合物，化學(xué)式為Si2Cl6，可以看成一種硅的氯化物。它是一種無色液體，在潮濕空氣中發(fā)煙。它在用作化學(xué)試劑和合成硅單質(zhì)的揮發(fā)性前體及芯片行業(yè)。
中文名
六氯乙硅烷
熔 點
-1 ℃
外文名
Hexachlorodisilane
沸 點
144 ℃
化學(xué)式
Si2Cl6
水溶性
反應(yīng)
分子量
268.88
密 度
1.562 g/cm3
CAS登錄號
13465-77-5
外 觀
無色液體
